渠道滑模機(jī)大大節(jié)省人力財(cái)力

　　溝渠滑模機(jī)主要作用是修建溝渠，溝渠可以大略地分成兩種。一種是平常在路邊隨處可見的雨水下水道，另一種是將住家以及工廠的廢水，以密閉管道的方式，輸送到污水處理廠的污水下水道。雨水下水道的建設(shè)大致上已經(jīng)完成，而污水下水道的建設(shè)依舊有賴政府和人民的互相配合，共同將污水下水道的連接普及化。
　　兩種溝渠對(duì)生活和生產(chǎn)都有著很重要的作用，而修建他們卻不是一件容易的事情，需要耗費(fèi)大量的人力和物力。在沒有正式機(jī)器之前溝渠是如何修建的呢？
　　一種淺溝渠隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，于一基底上依序形成墊氧化層、罩幕層、介電抗反射涂布層與頂蓋氧化層，然后于基底中形成一溝渠。接著，再于溝渠表面形成襯氧化層，且于基底上形成絕緣層并填滿溝渠。隨后以罩幕層作為研磨終點(diǎn)，以使用光學(xué)終點(diǎn)偵測(cè)系統(tǒng)作終點(diǎn)偵測(cè)的化學(xué)機(jī)械研磨制作工藝去除罩幕層上的絕緣層、介電抗反射涂布層與頂蓋氧化層，其中罩幕層的厚度控制在固定范圍，且介電抗反射涂布層的厚度控制在固定范圍，使得光學(xué)終點(diǎn)偵測(cè)系統(tǒng)所使用的光源可以產(chǎn)生具有反射光信號(hào)。然后再去除罩幕層與墊氧化層。

　　一種淺溝渠隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于：其步驟包括：提供一基底；于該基底上形成一墊氧化層；于該墊氧化層上形成一罩幕層；于該罩幕層上形成一介電抗反射涂布層；于該介電抗反射涂布層上形成一頂蓋氧化層；于該頂蓋氧化層上形成一圖案化光阻層；以該圖案化光阻層為罩幕，對(duì)該頂蓋氧化層、該介電抗反射涂布層、該罩幕層與該墊氧化層進(jìn)行蝕刻，并持續(xù)蝕刻至該基底內(nèi)，以形成一溝渠；去除該圖案化光阻層；于該溝渠的表面形成一襯氧化層；于該基底上形成一絕緣層并填滿該溝渠；以該罩幕層作為研磨終點(diǎn)，利用一化學(xué)機(jī)械研磨制作工藝去除該罩幕層上的部分該絕緣層、該介電抗反射涂布層與該頂蓋氧化層，其中，該化學(xué)機(jī)械研磨制作工藝中使用一光學(xué)終點(diǎn)偵測(cè)系統(tǒng)作終點(diǎn)偵測(cè)；去除該罩幕層；移除該墊氧化層，其中，該罩幕層的厚度被控制在一固定范圍，且該介電抗反射涂布層的厚度被控制在一固定范圍，使得該光學(xué)終點(diǎn)偵測(cè)系統(tǒng)所使用的一光源可以產(chǎn)生具有反射光信號(hào)。
　　可以看出還是很復(fù)雜的，機(jī)器的修建大大的解決了這個(gè)問題，是修建變得輕松起來，大大的節(jié)省了人力和物力。